| ■ ユーザーの課題 | 欠陥が見えない(微細・反射・複雑形状) 検査結果が安定しない 高速ラインで追従できない 汎用設備では対応できない 生産性を上げたいが検査がボトルネック |
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| ■ ジャパンシステムの価値 | 「見えにくい欠陥や、ばらつきやすい条件を最適設計で確実に捉える。」 |
| ■ 解決できること | 微細欠陥検出(μmオーダーの対応実績) 反射・影・凹凸など難条件への対策 複雑形状ワークの死角削減 高速ラインの同期撮影 不良の分類・判別(AI含む) |
| ■ システム構成例 | 高解像度カメラ、特殊照明、画像処理PC、ロボット同期、NG排出など |
| ■ 製品事例 |
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画像検査装置 CLIPシリーズ
- ガラス、ウェハ、フィルム、印刷物などを高精度・広範囲・高速で自動検査
- 分解能:1~20μm
- 撮像幅:16~320mm
- スキャン速度:10~600mm/sec
- マルチカラー照明により、モノクロだけでなく、対象に合わせた色味で検査が可能
※上記スペックは実績値で、ご要求に合わせてカスタマイズ可能です。
※撮像幅や、スキャン速度は分解能によるため、検査対象のサイズや要求精度で最適設計いたします。
テンション制御によるメッシュのピッチ測定
- バックテンションを電磁ブレーキで制御しながらメッシュのピッチをロールtoロールで連続測定
- 分解能1μmでピッチ測定誤差±3μm、計測速度10mm/sを達成
小サイズ部品の高速自動供給・排出
- ダブルフィンガーによる自動供給・排出と、サイクルタイム短縮のための機内移載機構の実施例
- ワンアクションで移載・位置決めが可能な検査ステージ
サイクルタイム:8s(マシンタイム:7.6s)
検査時間:5.2s
※AFのための高さ計測時間を含む
ワーク入れ替え時間:2.4s
※装置への供給排出は、検査と並行動作
ラインレーザー光+高速度撮影し輝度変化をソフト処理して可視化
- 高速撮像+輝度変化抽出からソフト処理により疑似画像化したラスタデータを解析して微小な歪(0.2μm)の検出
- 内製平行ラインレーザー光源による鏡面の歪(脈理)検査
ルールベースとAIを組み合わせた外観検査
・多様な異常に対するルールベースでの不良の検出と、AIによる不良の判定を組み合わせた検査を実施 ・従来のルールベースによる判定では難しいシビアな異常も、AI導入により判定が可能となり、不良の過検出を90%以上減少、生産効率が大幅に改善